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本发明提出一种喷嘴的校准装置和喷嘴的校准方法。该校准装置适用于对半导体机台的喷嘴进行校准，半导体机台的基座具有中央孔，中央孔的半径为Ｒ１，而喷嘴外侧设置有护盖，喷嘴的外径为Ｒ２且护盖的外径为Ｒ３。校准装置包括治具，治具包括上部及下部。治具于...
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