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本发明涉及陶瓷加工领域，具体提供了一种氮化硅陶瓷激光辅助加工方法及其装置，方法包括：步骤1：利用激光加热装置加热氮化硅陶瓷工件，使得氮化硅陶瓷工件达到分解温度后分解成Si及N2，得到材质为Si的工件；步骤2：对材质为Si的工件进行机械加工。...
该专利属于兴核科学研究（福建）有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过兴核科学研究（福建）有限责任公司授权不得商用。

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