下载晶体管的制造方法、形成沟道阻绝的方法以及半导体元件的技术资料

文档序号:3771718

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本发明提供一种金属氧化物半导体晶体管的制造方法,此方法例如是先提供基底,于基底中形成第一导电型阱区。然后,于第一导电型阱区的基底上形成栅极结构。并于栅极结构两侧的基底中形成第二导电型源极/漏极区。而后,对基底进行第一导电型离子注入工艺,穿透...
该专利属于力晶半导体股份有限公司;株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司;株式会社瑞萨科技授权不得商用。

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