温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种金属氧化物半导体晶体管的制造方法,此方法例如是先提供基底,于基底中形成第一导电型阱区。然后,于第一导电型阱区的基底上形成栅极结构。并于栅极结构两侧的基底中形成第二导电型源极/漏极区。而后,对基底进行第一导电型离子注入工艺,穿透...该专利属于力晶半导体股份有限公司;株式会社瑞萨科技所有,仅供学习研究参考,未经过力晶半导体股份有限公司;株式会社瑞萨科技授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种金属氧化物半导体晶体管的制造方法,此方法例如是先提供基底,于基底中形成第一导电型阱区。然后,于第一导电型阱区的基底上形成栅极结构。并于栅极结构两侧的基底中形成第二导电型源极/漏极区。而后,对基底进行第一导电型离子注入工艺,穿透...