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本发明涉及一种多安瓿输送系统，其中集成的蒸气或液体相反应 剂分配设备具有多个容器和多个载体或惰性气体供应/蒸气或液体相 反应剂输送歧管，用来连续分配蒸气或液体相反应剂，例如用于在半 导体材料和器件制造过程中材料沉积的前体。...
该专利属于普莱克斯技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过普莱克斯技术有限公司授权不得商用。

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