下载光掩膜版的技术资料

文档序号:37711937

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一种光掩膜版,包括:透明基板,所述透明基板包括呈一体结构的第一部分和第二部分,所述第二部分呈环状,且所述第二部分的上表面凸出于所述第一部分的上表面;固定在所述第二部分中和/或表面的第一磁性结构;保护膜,放置于所述第二部分的上表面上,且横跨所...
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