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通过将基板按压于研磨垫来进行基板的研磨的基板处理装置，具备：声音传感器，该声音传感器具备检测基板的研磨声并作为声音信号输出的传感器主体和收容传感器主体的罩部件；终点检测部，该终点检测部根据声音信号检测基板的研磨终点；以及气体供给装置，该气体...
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