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本发明涉及半导体芯片技术领域，具体为一种光电子半导体芯片检测装置及方法，包括支撑架，传送机，检测仪，PLC控制器，驱动组件，收集箱，匀料结构；其中：所述支撑架，为有四根支柱支撑长方形框架组成，用于支撑负载其余部件；所述传送机设置于支撑架上部...
该专利属于复旦大学所有，仅供学习研究参考，未经过复旦大学授权不得商用。

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