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基于纳米微腔结构衬底转移二维材料的方法技术
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文档序号:37706302
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本发明公开一种基于纳米微腔结构衬底转移二维材料的方法,属于二维材料转移技术领域。具体包括如下步骤:先制备PDMS/载玻片结构;再利用机械剥离的方法将二维材料转移到PDMS表面,剪掉多余的PDMS薄膜;接着利用纳米压印技术和等离子刻蚀工艺制备...
该专利属于南京邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京邮电大学授权不得商用。
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