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本发明涉及半导体湿制程设备技术领域，特别是一种双流体喷嘴装置，包括由非金属导电或防静电材质制作的喷嘴壳体与喷嘴芯；所述喷嘴芯从喷嘴壳体的上部螺纹旋入到喷嘴壳内，喷嘴芯的中部从上到下设有第一流体通道，所述喷嘴壳体的侧部设有第二流体通道，第二流...
该专利属于盛华基材（天津）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛华基材（天津）科技有限公司授权不得商用。

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