下载一种电镀填孔减铜工艺及装置的技术资料

文档序号:37704117

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本发明涉及电镀技术领域,具体为一种电镀填孔减铜工艺及装置,包括以下步骤:步骤A1、板电:在非填孔电镀线上进行一次电镀;步骤A2、覆膜:在板电后的板两面覆盖一层遇紫外线能够发生聚合反应的干膜;步骤A3、曝光:通过曝光机设备发出光线照射在板面上...
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