温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开一种晶圆倒圆台形的凸点金属的制备方法,属于光刻机技术领域;该方法包括:对晶圆进行预处理,得到预处理后晶圆;对预处理后晶圆进行光刻和镀金属,得到含凸点金属晶圆;对含凸点金属晶圆进行光刻和金属刻蚀,得到含倒圆台形的凸点金属的晶圆。本发...该专利属于绍兴君万微电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过绍兴君万微电子科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开一种晶圆倒圆台形的凸点金属的制备方法,属于光刻机技术领域;该方法包括:对晶圆进行预处理,得到预处理后晶圆;对预处理后晶圆进行光刻和镀金属,得到含凸点金属晶圆;对含凸点金属晶圆进行光刻和金属刻蚀,得到含倒圆台形的凸点金属的晶圆。本发...