温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种紫外固化腔体的清洁方法，所述方法包括：将反应气体三氟化氮和氢氮化物通入远程等离子源中，解离成氟化铵气体；所述氟化铵气体与位于腔体上部的石英窗中的二氧化硅反应得到第一氟硅酸胺固体；所述氟化铵气体进入腔体后，与所述腔体内的二氧化...
该专利属于拓荆科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。