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下载陶瓷结构体的技术资料

文档序号:37702257

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本发明的陶瓷结构体,作为主要成分含有碳化硅、碳氮化硅、碳化钛或碳氮化钛,具有第1主面、和与第1主面相对的第2主面,根据电子探针显微分析仪的元素映射求得的碳浓度为,第1主面高于第2主面。面高于第2主面。面高于第2主面。
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该专利属于京瓷株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过京瓷株式会社授权不得商用。

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