温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及晶圆加工设备的领域，尤其是涉及一种晶圆转移设备。其技术方案的要点是：包括横移机构；升降旋转机构；设于所述横移机构，所述横移机构用于带动所述升降旋转机构往复横移；以及抓取机构，所述抓取机构设于所述升降旋转机构，所述升降旋转机构用于驱...
该专利属于东莞市智赢智能装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市智赢智能装备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。