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提供一种ITO薄膜以及透明导电性薄膜，ITO薄膜在不进行退火处理的状态下提高非晶ITO膜的稳定性，电阻值随时间没有变化、提高防潮性和阻气性，并克服由弯曲引起的裂纹；透明导电性薄膜具有优异的导电性、透明性以及耐久性。本发明的ITO薄膜在具有挠...
该专利属于洛克技研工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过洛克技研工业株式会社授权不得商用。

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