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显示设备和制造其的方法技术
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文档序号:37701115
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本发明涉及显示设备和制造其的方法。该显示设备可容易与载体基板分开。制造显示设备的方法包括:在载体基板上形成包括硅氧化物的第一无机层;通过使用一氧化二氮气体等离子体处理第一无机层;在等离子体处理之后,在第一无机层上形成显示基板;在显示基板上面...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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