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本发明的目的在于提供一种导电性高分子组合物，其能够适宜地用于过滤性及在电子束抗蚀剂上的平坦膜成膜性良好，并且在电子束描绘工序中也显示优良的抗静电性能，且将因该膜扩散的酸的影响降至最低限度，剥离性也优异的电子束抗蚀剂描绘用抗静电膜。所述导电性...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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