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课题：提供膜结构体及其制造方法，该膜结构体具有形成于衬底上的缓冲膜，能够使形成于缓冲膜上的金属膜或者压电体膜的取向方向一致为规定方向。解决手段：膜结构体(10)具有衬底(11)和形成于衬底(11)上的缓冲膜(12)。衬底(11)为SOI衬底...
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