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提供了一种铟金属氧化物膜蚀刻剂组合物和使用该组合物的图案形成方法。根据本发明的实施例，铟金属氧化物膜蚀刻剂组合物相对于组合物的总重量包含：6重量％至12重量％的硝酸类氧化剂；1.5重量％至7重量％的硫酸氢盐类化合物；0.1重量％至9重量％的...
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