温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提出一种半导体芯片的离子注入装置，包括：离子源发射器；晶圆支撑架，以支撑承载晶圆；多个法拉第杯，形成一闭合形状，每两个相邻的所述法拉第杯依次接触；安装架，以安装多个所述法拉第杯；以及控制单元，分别与所述离子源发射器、多个所述法拉第...
该专利属于合肥晶合集成电路股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。