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一种薄膜压变电容装置，包括具有支持结构的薄膜与具有悬臂结构的背板。在薄膜与背板之间至少具有一突起结构，而背板则具有挖空的结构。此薄膜与背板相互平行，而挖空的结构具有至少一悬臂结构。此突起结构与悬臂结构形成支撑体，当一压力传输至薄膜时，突起结...
该专利属于财团法人工业技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过财团法人工业技术研究院授权不得商用。

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