压变电容装置制造方法及图纸

技术编号:3769724 阅读:182 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种薄膜压变电容装置,包括具有支持结构的薄膜与具有悬臂结构的背板。在薄膜与背板之间至少具有一突起结构,而背板则具有挖空的结构。此薄膜与背板相互平行,而挖空的结构具有至少一悬臂结构。此突起结构与悬臂结构形成支撑体,当一压力传输至薄膜时,突起结构会与悬臂结构接触,而因突起结构的下压而产生形变,薄膜因此而有位移的变形量,电容的电场分布于薄膜与背板四周之间。此突起结构可形成于上述薄膜表面或是悬臂结构的表面上。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种压变电容装置,其特征是包含: 薄膜; 背板,具有挖空的结构,该薄膜与该背板相互平行,该挖空的结构具有至少一悬臂结构;以及 至少一突起结构,位于该薄膜与该背板之间,其中,该突起结构与该悬臂结构形成支撑体,当压力传输至薄膜 时,该突起结构会与该悬臂结构接触,而因该突起结构的下压而产生形变,该薄膜因此而有位移的变形量,电容的电场分布于该薄膜与该背板四周之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:简欣堂李炯毅刘娉婷
申请(专利权)人:财团法人工业技术研究院
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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