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本实用新型公开了一种微波批量处理等离子体系统,所述微波发生器的上方通过螺丝安装有水负载,所述水负载的上方通过螺丝安装有三销钉调配器,所述三销钉调配器的一端通过螺丝安装有壳体,所述壳体内安装有波导天线;本实用新型通过设置微波发生器将微波电源的...该专利属于东莞市晟鼎精密仪器有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市晟鼎精密仪器有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种微波批量处理等离子体系统,所述微波发生器的上方通过螺丝安装有水负载,所述水负载的上方通过螺丝安装有三销钉调配器,所述三销钉调配器的一端通过螺丝安装有壳体,所述壳体内安装有波导天线;本实用新型通过设置微波发生器将微波电源的...