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本实用新型涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光与成像同轴聚焦的成像系统。本实用新型包括第一光源模块、激光模块、成像聚焦模块、第一分光片、第二分光片、激光聚焦模块及载物台；第一分光片设于第一光源光路上；第二分光片设于激光光路上；激光聚焦模...
该专利属于珠海东辉半导体装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海东辉半导体装备有限公司授权不得商用。

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