一种激光与成像同轴聚焦的成像系统技术方案

本实用新型专利技术涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光与成像同轴聚焦的成像系统。本实用新型专利技术包括第一光源模块、激光模块、成像聚焦模块、第一分光片、第二分光片、激光聚焦模块及载物台；第一分光片设于第一光源光路上；第二分光片设于激光光路上；激光聚焦模块输入光路的延伸方向与第二分光片反射光路的延伸方向相同；载物台位于激光聚焦模块的输出光路上。本实用新型专利技术配合第一分光板和第二分光板，可以将第一光源模块的第一光源光路、激光模块的激光光路和成像聚焦模块的成像光路实现同轴传输，本实用新型专利技术能够实现同时激光加工与成像采集，可以有效地提升了样品的加工效率。可以有效地提升了样品的加工效率。可以有效地提升了样品的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种激光与成像同轴聚焦的成像系统


[0001]本技术涉及激光加工设备
，特别是一种激光与成像同轴聚焦的成像系统。

技术介绍

[0002]现有的激光设备中，如果需要成像系统(即相机采集画面的功能)，大部分均使用旁轴系统，即相机采集画面的部分作为独立系统与激光的光学传播分开，再使用软件的平台补正功能，在同一个位置采集画面后进行激光加工，例如，某一个点A的画面采集时坐标为(X1,Y1)，在软件中形成记录后，机械设计上，采集画面的中心A 与激光的中心B会有一个固定的距离(X2,Y2)，那么在移动A点到激光加工镜头的中心时，需要移动到B点的坐标就是(X1+X2，Y1+Y2)，这对于移动的精度要求是很高的，加工后还需要再次移动回A点查看加工效果，则加工时间较长，影响加工效率。同时因为加工过程中需要来回移动，则会对旁轴系统的加工位置精度造成影响，降低了加工质量。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种激光与成像同轴聚焦的成像系统，能够提升加工效率和加工精度。
>[0004]根据本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于，包括：成像聚焦模块(100)，用于采集加工画面；第一光源模块(200)，用于提供光源；激光模块(300)，用于产生激光；第一分光片(400)，设于所述第一光源模块(200)的第一光源光路上，且所述第一分光片(400)透射光路的延伸方向与所述成像聚焦模块(100)成像光路的延伸方向相同；第二分光片(500)，设于所述激光模块(300)的激光光路上，且所述第二分光片(500)透射光路的延伸方向与所述第一分光片(400)反射光路的延伸方向相同；激光聚焦模块(600)，输入光路的延伸方向与所述第二分光片(500)反射光路的延伸方向相同；载物台(700)，位于所述激光聚焦模块(600)的输出光路上。2.根据权利要求1所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：所述载物台(700)正面的法向与所述激光聚焦模块(600)输出光路所延伸的方向相反。3.根据权利要求1或2任一项所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：还包括用于提供光源的第二光源模块(800)，所述载物台(700)为玻璃平台，所述第二光源模块(800)输出光路所延伸的方向与所述载物台(700)背面的法向相反。4.根据权利要求1所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：所述成像聚焦模块(100)包括：成像相机(110)；聚焦单元(120)，输入光路的延伸方向与所述成像相机(110)成像光路的延伸方向相同；第一偏光片(130)，输入光路的延伸方向与所述聚焦单元(120)输出光路的延伸方向相同。5.根据权利要求4所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：所述聚焦单元(120)包括TV管镜(121)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔，
申请(专利权)人：珠海东辉半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：