一种激光与成像同轴聚焦的成像系统技术方案

本实用新型专利技术涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光与成像同轴聚焦的成像系统。本实用新型专利技术包括第一光源模块、激光模块、成像聚焦模块、第一分光片、第二分光片、激光聚焦模块及载物台；第一分光片设于第一光源光路上；第二分光片设于激光光路上；激光聚焦模块输入光路的延伸方向与第二分光片反射光路的延伸方向相同；载物台位于激光聚焦模块的输出光路上。本实用新型专利技术配合第一分光板和第二分光板，可以将第一光源模块的第一光源光路、激光模块的激光光路和成像聚焦模块的成像光路实现同轴传输，本实用新型专利技术能够实现同时激光加工与成像采集，可以有效地提升了样品的加工效率。可以有效地提升了样品的加工效率。可以有效地提升了样品的加工效率。

【技术实现步骤摘要】
一种激光与成像同轴聚焦的成像系统


[0001]本技术涉及激光加工设备
，特别是一种激光与成像同轴聚焦的成像系统。

技术介绍

[0002]现有的激光设备中，如果需要成像系统(即相机采集画面的功能)，大部分均使用旁轴系统，即相机采集画面的部分作为独立系统与激光的光学传播分开，再使用软件的平台补正功能，在同一个位置采集画面后进行激光加工，例如，某一个点A的画面采集时坐标为(X1,Y1)，在软件中形成记录后，机械设计上，采集画面的中心A 与激光的中心B会有一个固定的距离(X2,Y2)，那么在移动A点到激光加工镜头的中心时，需要移动到B点的坐标就是(X1+X2，Y1+Y2)，这对于移动的精度要求是很高的，加工后还需要再次移动回A点查看加工效果，则加工时间较长，影响加工效率。同时因为加工过程中需要来回移动，则会对旁轴系统的加工位置精度造成影响，降低了加工质量。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种激光与成像同轴聚焦的成像系统，能够提升加工效率和加工精度。
[0004]根据本技术实施例的激光与成像同轴聚焦的成像系统，包括成像聚焦模块、第一光源模块、激光模块、第一分光片、第二分光片、激光聚焦模块以及载物台；所述成像聚焦模块用于采集加工画面；所述第一光源模块用于提供光源；所述激光模块用于产生激光；所述第一分光片设于所述第一光源模块的第一光源光路上，且所述第一分光片透射光路的延伸方向与所述成像聚焦模块成像光路的延伸方向相同；所述第二分光片设于所述激光模块的激光光路上，且所述第二分光片透射光路的延伸方向与所述第一分光片反射光路的延伸方向相同；所述激光聚焦模块的输入光路的延伸方向与所述第二分光片反射光路的延伸方向相同；所述载物台位于所述激光聚焦模块的输出光路上。
[0005]根据本技术的一些实施例，所述载物台正面的法向与所述激光聚焦模块输出光路所延伸的方向相反。
[0006]根据本技术的一些实施例，还包括用于提供光源的第二光源模块，所述载物台为玻璃平台，所述第二光源模块输出光路所延伸的方向与所述载物台背面的法向相反。
[0007]根据本技术的一些实施例，所述成像聚焦模块包括成像相机、聚焦单元和第一偏光片；所述聚焦单元的输入光路的延伸方向与所述成像相机成像光路的延伸方向相同；所述第一偏光片的输入光路的延伸方向与所述聚焦单元输出光路的延伸方向相同。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述聚焦单元包括TV管镜，所述TV管镜的输入光路的延伸方向与所述成像相机成像光路的延伸方向相同，所述TV管镜的输出光路的延伸方向与所述第一偏光片输入光路的延伸方向相同。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述聚焦单元包括TV管镜和变倍镜头；所述TV 管
镜的输入光路的延伸方向与所述成像相机成像光路的延伸方向相同；所述变倍镜头的输入光路的延伸方向与所述TV管镜输出光路的延伸方向相同，所述变倍镜头的输出光路的延伸方向与所述第一偏光片输入光路的延伸方向相同。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述激光聚焦模块包括加工镜头和微调平台；所述加工镜头的输入光路的延伸方向与所述第二分光片反射光路的延伸方向相同，所述加工镜头的输出光路朝所述载物台所在的方向延伸；所述微调平台用于固定所述加工镜头，且能够沿垂直于所述第二分光片反射光路的延伸方向调节所述加工镜头的位置。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述激光聚焦模块还包括朝向所述载物台正面照射的第三光源。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述第一分光片的延伸方向与所述成像聚焦模块成像光路所延伸的方向呈45
°
。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述第二分光片的延伸方向与所述第一分光片反射光路所延伸的方向呈45
°
。
[0014]本技术实施例至少具有如下有益效果：配合第一分光板和第二分光板，可以将第一光源模块的第一光源光路、激光模块的激光光路和成像聚焦模块的成像光路实现同轴传输，此外，配合激光聚焦模块，能够聚焦激光模块的激光，进而实现对样品进行加工，本技术能够实现同时激光加工与成像采集，可以有效地提升了样品的加工效率。
[0015]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0016]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0017]图1为本技术实施例的激光与成像同轴聚焦的成像系统的光路原理示意图。
[0018]附图标记：
[0019]标号名称标号名称100成像聚焦模块500第二分光片110成像相机600激光聚焦模块120聚焦单元610加工镜头121TV管镜620微调平台122变倍镜头630第三光源130第一偏光片700载物台200第一光源模块800第二光源模块300激光模块810第二光源400第一分光片820第二偏光片
具体实施方式
[0020]以下将结合实施例和附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整的描述，以充分地理解本技术的目的、方案和效果。需要说明的是，在不冲突
的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0021]需要说明的是，如无特殊说明，当某一特征被称为“固定”、“连接”在另一个特征，它可以直接固定、连接在另一个特征上，也可以间接地固定、连接在另一个特征上。此外，本技术中所使用的上、下、左、右、顶、底等描述仅仅是相对于附图中本技术各组成部分的相互位置关系来说的。
[0022]此外，除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与本
的技术人员通常理解的含义相同。本文说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例，而不是为了限制本技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的组合。
[0023]应当理解，尽管在本公开可能采用术语第一、第二、第三等来描述各种元件，但这些元件不应限于这些术语。这些术语仅用来将同一类型的元件彼此区分开。例如，在不脱离本公开范围的情况下，第一元件也可以被称为第二元件，类似地，第二元件也可以被称为第一元件。
[0024]参照图1，根据本技术实施例的激光与成像同轴聚焦的成像系统，包括成像聚焦模块100、第一光源模块200、激光模块300、第一分光片400、第二分光片500、激光聚焦模块600以及载物台700；所述成像聚焦模块100用于采集加工画面；所述第一光源模块200用于提供光源；所述激光模块300用于产生激光；所述第一分光片 400设于所述第一光源模块200的第一光源光路上，且所述第一分光片400透射光路的延伸方向与所述成像聚焦模块100成像光路的延伸方向相同；所述第二分光片500 设于所述激光模块300的激光光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于，包括：成像聚焦模块(100)，用于采集加工画面；第一光源模块(200)，用于提供光源；激光模块(300)，用于产生激光；第一分光片(400)，设于所述第一光源模块(200)的第一光源光路上，且所述第一分光片(400)透射光路的延伸方向与所述成像聚焦模块(100)成像光路的延伸方向相同；第二分光片(500)，设于所述激光模块(300)的激光光路上，且所述第二分光片(500)透射光路的延伸方向与所述第一分光片(400)反射光路的延伸方向相同；激光聚焦模块(600)，输入光路的延伸方向与所述第二分光片(500)反射光路的延伸方向相同；载物台(700)，位于所述激光聚焦模块(600)的输出光路上。2.根据权利要求1所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：所述载物台(700)正面的法向与所述激光聚焦模块(600)输出光路所延伸的方向相反。3.根据权利要求1或2任一项所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：还包括用于提供光源的第二光源模块(800)，所述载物台(700)为玻璃平台，所述第二光源模块(800)输出光路所延伸的方向与所述载物台(700)背面的法向相反。4.根据权利要求1所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：所述成像聚焦模块(100)包括：成像相机(110)；聚焦单元(120)，输入光路的延伸方向与所述成像相机(110)成像光路的延伸方向相同；第一偏光片(130)，输入光路的延伸方向与所述聚焦单元(120)输出光路的延伸方向相同。5.根据权利要求4所述的激光与成像同轴聚焦的成像系统，其特征在于：所述聚焦单元(120)包括TV管镜(121)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔，
申请(专利权)人：珠海东辉半导体装备有限公司，
类型：新型
国别省市：