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本实用新型涉及圆形靶材等离子喷涂技术领域，尤其为一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构，包括箱体，所述箱体的顶部一端固定安装有支撑板，所述支撑板的顶部横置板底部一端连接有弹力伸缩杆，所述弹力伸缩杆的底部固定安装有堵头，本实用新型通过设计的一种圆形靶...
该专利属于上海贺东电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海贺东电子材料有限公司授权不得商用。

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