【技术实现步骤摘要】
一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构
[0001]本技术涉及圆形靶材等离子喷涂
,具体为一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构。
技术介绍
[0002]等离子喷涂是一种材料表面强化和表面改性的技术,可以使基体表面具有耐磨、耐蚀、耐高温氧化、电绝缘、隔热、防辐射、减磨和密封等性能,由于圆形靶材的外表面为环形面在对其进行等离子喷涂时需要对圆形靶材的高度进行调整才能保障圆形靶材的外表面都能够进行喷涂,但是这种人工对圆形靶材高度调整的方法操作频繁,耽误时间,加工效率低。
[0003]综上所述,本技术通过设计一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构来解决存在的问题。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0006]一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构,包括箱体,所述箱体的顶部一端固定安装有支撑板,所述支撑板的顶部横置板底部一端连接有弹力伸缩杆,所述弹力伸缩杆的底部固定安装有堵头,所述箱体的顶部转 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的顶部一端固定安装有支撑板(2),所述支撑板(2)的顶部横置板底部一端连接有弹力伸缩杆(3),所述弹力伸缩杆(3)的底部固定安装有堵头(7),所述箱体(1)的顶部转动连接有转动轴(4),所述转动轴(4)的外环面顶部固定套设安装有上料板(5),所述上料板(5)的顶部安装有圆形靶材加工件(6);所述箱体(1)的内侧底部均匀安装有四个电动伸缩杆(8),所述电动伸缩杆(8)的顶部固定安装有支撑台(9),所述支撑台(9)的顶部中心处安装有正反电机(10)。2.根据权利要求1所述的一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构,其特征在于:所述弹力伸缩杆(3)的顶部与支撑板(2)之间为转动连接,且所述弹力伸缩杆(3)底部的堵头(7)外围截面直径尺寸与圆形靶材加工件(6)的内侧孔径尺寸相同。3.根据权利要求1所述的一种圆形靶材等离子喷涂旋转机构,其特征在于:所述圆形靶材加工件(6...
【专利技术属性】
技术研发人员:李心然,居炎鹏,王永超,赵泽良,
申请(专利权)人:上海贺东电子材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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