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本实用新型公开一种水冷式射频电源匹配器，其包括电感线圈；机箱；所述机箱为封闭式机箱，所述电感线圈设置于所述机箱内；水箱，设置于所述机箱外，并具有出水口和回水口；散热装置，布置于所述水箱的一侧，并用于对所述水箱散热；所述机箱为密闭机箱；所述电...
该专利属于深圳市广能达半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市广能达半导体科技有限公司授权不得商用。

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