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本实用新型涉及抛光垫测量技术领域，具体涉及一种抛光垫压缩比测量装置，包括测量平台、调节组件和测量表组件，测量平台上设有立柱，调节组件包括套设在立柱上的移动环，移动环上转动连接有支架，测量表组件包括测量表和探针，测量表的外部套设有安装环，测量...
该专利属于广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院授权不得商用。

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