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本实用新型涉及三氯氢硅合成技术领域,具体公开了一种带有温度调控功能的三氯氢硅合成炉,包括:合成炉,合成炉内部设置有控温板,合成炉一端设置有电机,电机一端设置转轴,转轴表面套设有支撑架;有益效果为:本实用新型提出的一种带有温度调控功能的三氯氢...该专利属于河南尚宇新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南尚宇新能源股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及三氯氢硅合成技术领域,具体公开了一种带有温度调控功能的三氯氢硅合成炉,包括:合成炉,合成炉内部设置有控温板,合成炉一端设置有电机,电机一端设置转轴,转轴表面套设有支撑架;有益效果为:本实用新型提出的一种带有温度调控功能的三氯氢...