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本实用新型公开了一种过滤设备，涉及过滤装置技术领域，该过滤设备用于LED干法刻蚀设备上，LED干法刻蚀设备包括设于腔室内的摆阀，过滤设备设于腔室内并位于摆阀之上，过滤设备包括用于过滤杂质的过滤组件，过滤组件包括第一过滤组件，第一过滤组件包括...
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