下载一种带预处理腔室的真空除气系统的技术资料

文档序号:37690727

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本实用新型公开了一种带预处理腔室的真空除气系统,属于高真空干燥领域,包括箱体,还包括预处理腔室、真空腔室、加热炉、送样组件、真空系统、充气系统及控制系统,所述真空系统包括干式组件及冷式组件,所述预处理腔室与真空腔室之间设置有第一闸板阀,所述...
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