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一种带预处理腔室的真空除气系统技术方案
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文档序号:37690727
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本实用新型公开了一种带预处理腔室的真空除气系统,属于高真空干燥领域,包括箱体,还包括预处理腔室、真空腔室、加热炉、送样组件、真空系统、充气系统及控制系统,所述真空系统包括干式组件及冷式组件,所述预处理腔室与真空腔室之间设置有第一闸板阀,所述...
该专利属于四川景恒科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川景恒科技有限公司授权不得商用。
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