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热式流量计制造技术
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文档序号:3768683
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本发明提供一种减少水滴向测量元件的附着,并能进行高精度的计测的热式流量计。该热式流量计,通过在基板表面一侧形成了发热电阻、测温电阻的测量元件(1)来测量流量,其中,设置与测量元件(1)的表面相对置的对面壁(3),设置从对面壁(3)向测量元件...
该专利属于株式会社日立制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社日立制作所授权不得商用。
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