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版图仿真方法和版图仿真装置，其中版图仿真方法包括：提供第一规则模型，第一规则模型包括若干不同的第一器件，各第一器件包括若干不同类的第一器件结构；根据第一规则模型，获取若干与各第一器件对应的检查模型；提供工艺设计套件，工艺设计套件包括若干不同...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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