下载一种降低烧结后ITO平面靶翘曲的方法的技术资料

文档序号:37678342

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本发明属于ITO靶材领域,具体涉及一种降低烧结后ITO平面靶翘曲的方法,在翘曲的ITO平面靶的翘曲的位置的表面施加6
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该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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