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本发明提供一种堆叠式CMOS图像传感器及其制作方法，包括：键合的逻辑晶圆和像素晶圆，逻辑晶圆包括第一衬底和第一金属层；像素晶圆包括第二衬底和第二金属层；第二衬底中侧形成有接地孔和接地焊垫；第三金属层填充硅通孔且与第一金属层电连接，第三金属层...
该专利属于豪威科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过豪威科技（上海）有限公司授权不得商用。

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