下载加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法的技术资料

文档序号:37677029

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本发明涉及一种加热组件的制备方法及气体传感器的制备方法。加热组件的制备方法包括:提供基底;于基底的上表层形成导电层;于导电层的上表层、导电层的侧壁以及基底的上表层形成第一绝缘层;于第一绝缘层的侧壁形成侧墙结构,其中,第一绝缘层的侧壁与导电层...
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