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薄膜晶体管及薄膜晶体管阵列基底制造技术
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文档序号:37676237
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公开了一种薄膜晶体管和一种薄膜晶体管阵列基底,所述薄膜晶体管包括:遮光层,设置在基底上;氧供应层,设置在遮光层上,并且包括金属氧化物;缓冲层,设置在基底上,并且覆盖氧供应层;有源层,设置在缓冲层上,其中,有源层包括与遮光层叠置的沟道区以及分...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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