下载一种含稀土化合物的软胶抛光垫的制备方法的技术资料

文档序号:37676004

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本发明公开了一种含稀土化合物的软胶抛光垫的制备方法,选取涤纶制的网状结构进行骨架支撑,使得加工时长可以等到足够的保障,并且本发明可采用多层结构设计,使得在金刚石磨抛加工过程初期得到更高的材料去除率的同时,也能在后续的磨抛加工过程中得到更好的...
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