下载基于类二极管可控硅的静电保护器件的技术资料

文档序号:37674590

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本发明公开了一种基于类可控硅二极管的静电保护器件,包括:半导体基板;深埋层隔离区,嵌埋至所述半导体基板中;第一N型掺杂区、第一P型掺杂区、第二N型掺杂区和第二P型掺杂区,依次设置在所述深埋层隔离区上;多个浅沟槽隔离区,依次设置在第一N型掺杂...
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