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本发明提供一种晶圆传输一体化系统及减振设计方法，涉及半导体技术领域，该系统包括：主体设备、晶圆载物台和减振装置；其中，所述主体设备和所述晶圆载物台之间可拆卸连接；所述减振装置，安装于所述晶圆载物台的下方，用于在将所述主体设备和所述晶圆载物台...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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