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显示装置同时显示腔室的图像、配置于腔室的元件的图像及保持元件的保持件的映像图像。干扰确认方法以重叠的状态显示配置于腔室内的元件的图像和把持元件的把持爪的图像，并且确认在把持爪在用于把持元件的动作的范围内移动而把持元件时，把持爪是否与腔室或配...
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