下载一种平板型整流管芯片的制备工艺的技术资料

文档序号:37673059

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本发明公开一种平板型整流管芯片的制备工艺,依据产品电参数要求,选择被扩散硅片类别,进行硅片高温涂敷杂质源操作,完成涂敷杂质源的硅片移至干净的真空烘箱中烘干待用,进行硅片扩散操作,对已经扩散的硅片进行处理,硅片扩散片电火花线切割操作,用铝箔做...
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