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一种抛光液及其制备方法技术
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文档序号:37673003
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本披露公开了一种抛光液,该抛光液包括微粉料和水基复合基载液,其中所述微粉料和所述水基复合基载液的质量配比为:所述微粉料为2
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该专利属于湖南三安半导体有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过湖南三安半导体有限责任公司授权不得商用。
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