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可植入压力传感器封装制造技术
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文档序号:37671799
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本发明提供一种可植入传感器装置,所述可植入传感器装置包括:传感器支撑基板;微机电系统(MEMS)压力传感器装置,所述微机电系统压力传感器装置安装到所述传感器支撑基板;换能介质,所述换能介质施加在所述压力传感器装置上方;以及生物相容性层,所述...
该专利属于爱德华兹生命科学公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱德华兹生命科学公司授权不得商用。
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