下载一种高精度微流量气体控制装置和标定方法的技术资料

文档序号:37670307

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本发明公开了一种高精度微流量气体控制装置和标定方法,其特点是:主气路供气模块、近端两支气路供气模块、远端两支气路供气模块分别设有独立的限流器、以及独立的气容,限流器能够实现0.01sccm气体流量控制,气容专门针对卫星推进系统点火工作环节而...
该专利属于中国科学院力学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院力学研究所授权不得商用。

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