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本发明提供一种测试结构及其测试方法，测试结构包括依次堆叠设置的第一极板结构、介质层和第二极板结构，第一极板结构包括第一绝缘层以及嵌设在第一绝缘层中的第一电极层，介质层包括第一部分以及环设在第一部分外侧的第二部分，第二极板结构包括第二电极层，...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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