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本发明提供一种NOR Flash的版图及制备方法,NOR Flash的版图包括有源区图形、浮栅图形和控制栅图形,浮栅图形与有源区图形垂直相交设置,且在每个相交点上均具有一个所述浮栅图形,浮栅图形位于控制栅图形内,使得采用NOR Flash的...该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种NOR Flash的版图及制备方法,NOR Flash的版图包括有源区图形、浮栅图形和控制栅图形,浮栅图形与有源区图形垂直相交设置,且在每个相交点上均具有一个所述浮栅图形,浮栅图形位于控制栅图形内,使得采用NOR Flash的...