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本发明涉及一种微影装置及微影装置的平衡晶片的方法，所述方法包括以下步骤：将一晶片放置于微影装置中，且晶片被一夹盘支撑，使用至少三个影像撷取组件，撷取晶片上对应影像撷取组件的对准记号，及依据影像撷取组件所撷取的晶片上的对准记号的清晰度，平衡晶...
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