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本发明涉及晶圆吸盘技术领域，具体而言，涉及一种密封性极佳的晶圆吸盘制造工艺，包括如下步骤：S1.准备面板；S2.在面板上安装钎焊料；S3.安装底板；S4.进行真空钎焊；S5.钎焊热处理，得到晶圆吸盘。本发明将真空钎焊技术运用到晶圆吸盘中，相...
该专利属于深圳晶准半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳晶准半导体科技有限公司授权不得商用。

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